Η τιμή στόχος της σχετικής υγρασίας σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών (FAB).

Η τιμή στόχος της σχετικής υγρασίας σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών (FAB) είναι περίπου 30 έως 50%, επιτρέποντας ένα στενό περιθώριο σφάλματος ±1%, όπως στη ζώνη λιθογραφίας - ή ακόμη λιγότερο στην επεξεργασία μακρινής υπεριώδους ακτινοβολίας (DUV). ζώνη – ενώ αλλού μπορεί να χαλαρώσει στο ±5%.
Επειδή η σχετική υγρασία έχει μια σειρά παραγόντων που μπορούν να μειώσουν τη συνολική απόδοση των καθαρών δωματίων, όπως:
1. Βακτηριακή ανάπτυξη.
2. Εύρος άνεσης θερμοκρασίας δωματίου για το προσωπικό.
3. Εμφανίζεται ηλεκτροστατικό φορτίο.
4. Διάβρωση μετάλλων.
5. Συμπύκνωση υδρατμών.
6. Υποβάθμιση της λιθογραφίας.
7. Απορρόφηση νερού.

Τα βακτήρια και άλλοι βιολογικοί ρυπαντές (μούχλα, ιοί, μύκητες, ακάρεα) μπορούν να ευδοκιμήσουν σε περιβάλλοντα με σχετική υγρασία μεγαλύτερη από 60%. Ορισμένες βακτηριακές κοινότητες μπορούν να αναπτυχθούν σε σχετική υγρασία μεγαλύτερη από 30%. Η εταιρεία πιστεύει ότι η υγρασία πρέπει να ελέγχεται στην περιοχή από 40% έως 60%, γεγονός που μπορεί να ελαχιστοποιήσει τον αντίκτυπο των βακτηρίων και των λοιμώξεων του αναπνευστικού.

Η σχετική υγρασία στην περιοχή από 40% έως 60% είναι επίσης ένα μέτριο εύρος για την ανθρώπινη άνεση. Η υπερβολική υγρασία μπορεί να κάνει τους ανθρώπους να αισθάνονται μπουκωμένοι, ενώ η υγρασία κάτω από 30% μπορεί να κάνει τους ανθρώπους να αισθάνονται ξηρό, σκασμένο δέρμα, αναπνευστική δυσφορία και συναισθηματική δυστυχία.

Η υψηλή υγρασία στην πραγματικότητα μειώνει τη συσσώρευση ηλεκτροστατικών φορτίων στην επιφάνεια του καθαρού δωματίου – ένα επιθυμητό αποτέλεσμα. Η χαμηλή υγρασία είναι ιδανική για συσσώρευση φορτίου και μια δυνητικά επιβλαβής πηγή ηλεκτροστατικής εκφόρτισης. Όταν η σχετική υγρασία υπερβαίνει το 50%, τα ηλεκτροστατικά φορτία αρχίζουν να διαχέονται γρήγορα, αλλά όταν η σχετική υγρασία είναι μικρότερη από 30%, μπορούν να παραμείνουν για μεγάλο χρονικό διάστημα σε έναν μονωτή ή σε μια μη γειωμένη επιφάνεια.

Η σχετική υγρασία μεταξύ 35% και 40% μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως ικανοποιητικός συμβιβασμός και τα καθαρά δωμάτια ημιαγωγών γενικά χρησιμοποιούν πρόσθετους ελέγχους για τον περιορισμό της συσσώρευσης ηλεκτροστατικών φορτίων.

Η ταχύτητα πολλών χημικών αντιδράσεων, συμπεριλαμβανομένων των διεργασιών διάβρωσης, θα αυξηθεί με την αύξηση της σχετικής υγρασίας. Όλες οι επιφάνειες που εκτίθενται στον αέρα γύρω από το καθαρό δωμάτιο είναι γρήγορες.