Η τιμή-στόχος της σχετικής υγρασίας σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών (FAB)

Η τιμή-στόχος της σχετικής υγρασίας σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών (FAB) είναι περίπου 30 έως 50%, επιτρέποντας ένα στενό περιθώριο σφάλματος ±1%, όπως στη ζώνη λιθογραφίας - ή ακόμη λιγότερο στη ζώνη επεξεργασίας άπω υπεριώδους ακτινοβολίας (DUV) - ενώ αλλού μπορεί να μειωθεί στο ±5%.
Επειδή η σχετική υγρασία έχει μια σειρά από παράγοντες που μπορούν να μειώσουν τη συνολική απόδοση των καθαρών δωματίων, όπως:
1. Βακτηριακή ανάπτυξη.
2. Εύρος θερμοκρασίας δωματίου για το προσωπικό.
3. Εμφανίζεται ηλεκτροστατικό φορτίο.
4. Διάβρωση μετάλλων.
5. Συμπύκνωση υδρατμών.
6. Υποβάθμιση της λιθογραφίας.
7. Απορρόφηση νερού.

Τα βακτήρια και άλλοι βιολογικοί ρύποι (μούχλες, ιοί, μύκητες, ακάρεα) μπορούν να ευδοκιμήσουν σε περιβάλλοντα με σχετική υγρασία άνω του 60%. Ορισμένες βακτηριακές κοινότητες μπορούν να αναπτυχθούν σε σχετική υγρασία άνω του 30%. Η εταιρεία πιστεύει ότι η υγρασία πρέπει να ελέγχεται στην περιοχή από 40% έως 60%, γεγονός που μπορεί να ελαχιστοποιήσει τον αντίκτυπο των βακτηρίων και των αναπνευστικών λοιμώξεων.

Η σχετική υγρασία στην περιοχή από 40% έως 60% είναι επίσης ένα μέτριο εύρος για την ανθρώπινη άνεση. Η υπερβολική υγρασία μπορεί να προκαλέσει αίσθηση βουλωμένης επιδερμίδας, ενώ η υγρασία κάτω από 30% μπορεί να προκαλέσει ξηρότητα, σκασμένο δέρμα, αναπνευστική δυσφορία και συναισθηματική δυστυχία.

Η υψηλή υγρασία μειώνει στην πραγματικότητα τη συσσώρευση ηλεκτροστατικών φορτίων στην επιφάνεια του καθαρού δωματίου – ένα επιθυμητό αποτέλεσμα. Η χαμηλή υγρασία είναι ιδανική για συσσώρευση φορτίου και μια δυνητικά επιβλαβής πηγή ηλεκτροστατικής εκκένωσης. Όταν η σχετική υγρασία υπερβαίνει το 50%, τα ηλεκτροστατικά φορτία αρχίζουν να διαχέονται γρήγορα, αλλά όταν η σχετική υγρασία είναι μικρότερη από 30%, μπορούν να παραμείνουν για μεγάλο χρονικό διάστημα σε έναν μονωτή ή σε μια μη γειωμένη επιφάνεια.

Η σχετική υγρασία μεταξύ 35% και 40% μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως ικανοποιητικός συμβιβασμός και οι καθαροί χώροι ημιαγωγών γενικά χρησιμοποιούν πρόσθετα χειριστήρια για να περιορίσουν τη συσσώρευση ηλεκτροστατικών φορτίων.

Η ταχύτητα πολλών χημικών αντιδράσεων, συμπεριλαμβανομένων των διεργασιών διάβρωσης, θα αυξηθεί με την αύξηση της σχετικής υγρασίας. Όλες οι επιφάνειες που εκτίθενται στον αέρα γύρω από το καθαρό δωμάτιο είναι γρήγορες.