Σχέδιο δευτερεύοντος αέρα επιστροφής για σύστημα κλιματισμού

Το μικροηλεκτρονικό συνεργείο με σχετικά μικρό χώρο καθαρού δωματίου και περιορισμένη ακτίνα αεραγωγού επιστροφής χρησιμοποιήθηκε για την υιοθέτηση του συστήματος δευτερεύοντος αέρα επιστροφής του συστήματος κλιματισμού. Αυτό το σχήμα χρησιμοποιείται επίσης συνήθως σεκαθαρά δωμάτιασε άλλους κλάδους όπως η φαρμακευτική και η ιατρική περίθαλψη. Επειδή ο όγκος εξαερισμού για την κάλυψη των απαιτήσεων υγρασίας καθαρής θερμοκρασίας δωματίου είναι γενικά πολύ μικρότερος από τον όγκο αερισμού που απαιτείται για να επιτευχθεί το επίπεδο καθαριότητας, επομένως, η διαφορά θερμοκρασίας μεταξύ του αέρα παροχής και του αέρα επιστροφής είναι μικρή. Εάν χρησιμοποιείται το σύστημα πρωτεύοντος αέρα επιστροφής, η διαφορά θερμοκρασίας μεταξύ του σημείου κατάστασης αέρα παροχής και του σημείου δρόσου της μονάδας κλιματισμού είναι μεγάλη, απαιτείται δευτερεύουσα θέρμανση, με αποτέλεσμα την αντιστάθμιση της ψυχρής θερμότητας στη διαδικασία επεξεργασίας αέρα και μεγαλύτερη κατανάλωση ενέργειας . Εάν χρησιμοποιείται το σύστημα δευτερεύοντος αέρα επιστροφής, ο δευτερεύων αέρας επιστροφής μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να αντικαταστήσει τη δευτερεύουσα θέρμανση του συστήματος πρωτεύοντος αέρα επιστροφής. Αν και η προσαρμογή του πρωτογενούς και δευτερεύοντος λόγου αέρα επιστροφής είναι ελαφρώς λιγότερο ευαίσθητη από τη ρύθμιση της δευτερεύουσας θερμότητας, το σύστημα δευτερεύοντος αέρα επιστροφής έχει αναγνωριστεί ευρέως ως μέτρο εξοικονόμησης ενέργειας κλιματισμού σε μικροηλεκτρονικά καθαρά εργαστήρια μικρού και μεσαίου μεγέθους. .

Πάρτε για παράδειγμα ένα καθαρό εργαστήριο μικροηλεκτρονικής κατηγορίας ISO, την καθαρή επιφάνεια εργαστηρίου 1 000 m2, το ύψος οροφής 3 m. Οι παράμετροι εσωτερικού σχεδιασμού είναι θερμοκρασία tn= (23±1) ℃, σχετική υγρασία φn=50%±5%; Ο όγκος παροχής αέρα σχεδιασμού είναι 171.000 m3/h, περίπου 57 h-1 χρόνοι ανταλλαγής αέρα και ο όγκος φρέσκου αέρα είναι 25.500 m3/h (εκ των οποίων ο όγκος αέρα εξαγωγής διεργασίας είναι 21.000 m3/h και το υπόλοιπο είναι όγκος αέρα διαρροής θετικής πίεσης). Το αισθητό θερμικό φορτίο στο καθαρό συνεργείο είναι 258 kW (258 W/m2), ο λόγος θερμότητας/υγρασίας του κλιματιστικού είναι ε=35 000 kJ/kg και η διαφορά θερμοκρασίας του αέρα επιστροφής του δωματίου είναι 4,5 ℃. Αυτή τη στιγμή, ο κύριος όγκος αέρα επιστροφής του
Αυτή είναι σήμερα η πιο συχνά χρησιμοποιούμενη μορφή συστήματος κλιματισμού καθαρισμού στο καθαρό δωμάτιο της βιομηχανίας μικροηλεκτρονικών, αυτός ο τύπος συστήματος μπορεί να χωριστεί κυρίως σε τρεις τύπους: AHU+FFU. MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Ξηρό πηνίο) +FFU. Κάθε ένα έχει τα πλεονεκτήματα και τα μειονεκτήματά του και τις κατάλληλες θέσεις, το αποτέλεσμα εξοικονόμησης ενέργειας εξαρτάται κυρίως από την απόδοση του φίλτρου και του ανεμιστήρα και άλλου εξοπλισμού.

1) Σύστημα AHU+FFU.

Αυτός ο τύπος λειτουργίας συστήματος χρησιμοποιείται στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικών ως «ο τρόπος διαχωρισμού της φάσης κλιματισμού και καθαρισμού». Μπορεί να υπάρχουν δύο καταστάσεις: η μία είναι ότι το σύστημα κλιματισμού ασχολείται μόνο με τον καθαρό αέρα και ο καθαρός αέρας που έχει υποστεί επεξεργασία φέρει όλο το φορτίο θερμότητας και υγρασίας του καθαρού δωματίου και λειτουργεί ως συμπληρωματικός αέρας για να εξισορροπεί τον αέρα εξαγωγής και τη διαρροή θετικής πίεσης του καθαρού δωματίου, αυτό το σύστημα ονομάζεται επίσης σύστημα MAU+FFU. Το άλλο είναι ότι ο όγκος του φρέσκου αέρα από μόνος του δεν επαρκεί για να καλύψει τις ανάγκες κρύου και θερμικού φορτίου του καθαρού δωματίου ή επειδή ο φρέσκος αέρας επεξεργάζεται από την εξωτερική κατάσταση στο σημείο δρόσου, η συγκεκριμένη διαφορά ενθαλπίας του απαιτούμενου μηχανήματος είναι πολύ μεγάλη , και μέρος του εσωτερικού αέρα (ισοδύναμο με αέρα επιστροφής) επιστρέφεται στη μονάδα επεξεργασίας κλιματισμού, αναμιγνύεται με τον καθαρό αέρα για επεξεργασία θερμότητας και υγρασίας και στη συνέχεια αποστέλλεται στην ομάδα παροχής αέρα. Σε συνδυασμό με τον υπόλοιπο αέρα επιστροφής καθαρού δωματίου (ισοδύναμο με τον δευτερεύοντα αέρα επιστροφής), εισέρχεται στη μονάδα FFU και στη συνέχεια τον στέλνει στο καθαρό δωμάτιο. Από το 1992 έως το 1994, ο δεύτερος συγγραφέας αυτής της εργασίας συνεργάστηκε με μια εταιρεία της Σιγκαπούρης και οδήγησε περισσότερους από 10 μεταπτυχιακούς φοιτητές να συμμετάσχουν στο σχεδιασμό της κοινοπραξίας ΗΠΑ-Χονγκ Κονγκ SAE Electronics Factory, η οποία υιοθέτησε το τελευταίο είδος κλιματισμού καθαρισμού και σύστημα εξαερισμού. Το έργο διαθέτει ένα καθαρό δωμάτιο ISO Class 5 περίπου 6.000 m2 (1.500 m2 εκ των οποίων ανατέθηκε από την Ιαπωνική Ατμοσφαιρική Υπηρεσία). Το δωμάτιο κλιματισμού είναι διατεταγμένο παράλληλα με την πλευρά του καθαρού δωματίου κατά μήκος του εξωτερικού τοίχου και μόνο δίπλα στο διάδρομο. Οι σωλήνες φρέσκου αέρα, απαγωγής αέρα και αέρα επιστροφής είναι κοντοί και τοποθετημένοι ομαλά.

2) Σχέδιο MAU+AHU+FFU.

Αυτή η λύση βρίσκεται συνήθως σε μονάδες μικροηλεκτρονικής με πολλαπλές απαιτήσεις θερμοκρασίας και υγρασίας και μεγάλες διαφορές στο φορτίο θερμότητας και υγρασίας, ενώ το επίπεδο καθαριότητας είναι επίσης υψηλό. Το καλοκαίρι, ο φρέσκος αέρας ψύχεται και αφυγραίνεται σε ένα σταθερό σημείο παραμέτρων. Συνήθως ενδείκνυται η επεξεργασία του καθαρού αέρα στο σημείο τομής της ισομετρικής γραμμής ενθαλπίας και της γραμμής σχετικής υγρασίας 95% του καθαρού δωματίου με αντιπροσωπευτική θερμοκρασία και υγρασία ή του καθαρού δωματίου με τον μεγαλύτερο όγκο φρέσκου αέρα. Ο όγκος αέρα του MAU προσδιορίζεται ανάλογα με τις ανάγκες κάθε καθαρού δωματίου για την αναπλήρωση του αέρα και διανέμεται στο AHU κάθε καθαρού δωματίου με σωλήνες σύμφωνα με τον απαιτούμενο όγκο φρέσκου αέρα και αναμιγνύεται με λίγο αέρα επιστροφής εσωτερικού χώρου για θερμότητα και θεραπεία υγρασίας. Αυτή η μονάδα φέρει όλο το φορτίο θερμότητας και υγρασίας και μέρος του νέου φορτίου ρευματισμών του καθαρού δωματίου που εξυπηρετεί. Ο αέρας που επεξεργάζεται κάθε AHU αποστέλλεται στην τροφοδοσία αέρα σε κάθε καθαρό δωμάτιο και μετά από δευτερεύουσα ανάμειξη με τον αέρα επιστροφής εσωτερικού χώρου, αποστέλλεται στο δωμάτιο από τη μονάδα FFU.

Το κύριο πλεονέκτημα της λύσης MAU+AHU+FFU είναι ότι εκτός από την εξασφάλιση καθαριότητας και θετικής πίεσης, εξασφαλίζει επίσης τις διαφορετικές θερμοκρασίες και τη σχετική υγρασία που απαιτούνται για την παραγωγή κάθε διαδικασίας καθαρού δωματίου. Ωστόσο, συχνά λόγω του αριθμού των εγκατεστημένων AHU, η περιοχή του δωματίου είναι μεγάλη, ο καθαρός αέρας του δωματίου, ο αέρας επιστροφής, οι αγωγοί παροχής αέρα διασταυρώνονται, καταλαμβάνουν μεγάλο χώρο, η διάταξη είναι πιο ενοχλητική, η συντήρηση και η διαχείριση είναι πιο δύσκολη και περίπλοκες, επομένως, δεν υπάρχουν ειδικές απαιτήσεις όσο το δυνατόν περισσότερο για την αποφυγή της χρήσης.